Research
半導体デバイス製造工程における静電気障害(ESD)現象の解明
半導体デバイスの製造プロセスにおいて、静電気障害(ESD)は大きな問題です。清家研究室では製品の歩留まりに直結するESDの原因を解明し、対策を行っていきます。特に半導体のスプレー洗浄プロセスでのESD解明に多くの成果を出している。最近ではAI技術を駆使し、ESD予防技術にも取り組み、各企業様からご評価を得ています。
半導体デバイス製造工程の物理洗浄に関する研究
半導体デバイスの微細化は脅威的なスピードで進化していいます。この半導体デバイスの製造工程の1/3が洗浄工程と言われている。清家研究室では次世代の超音波振動体型洗浄技術、二流体スプレー洗浄技術、一流体スプレー洗浄技術を用いた半導体チップの物理洗浄について研究を行っている。これら物理洗浄のメカニズムを解析し、それぞれのプロセスにマッチした洗浄方法を提案することができます。
生産技術におけるデータサイエンス
清家研究室では企業との共同研究で、データサイエンス（ディープラーニング、機械学習、多変量解析等）を活用した品質工学について研究しています。開発した各種センサを用いてIoTの実現化、データ処理にはMATLAB、StatWorksを中心に取り組んでいます。また学生が企業の生産技術の考え方をいち早く身に着けることも目的の一つとしています。
有機デバイスの作製
有機ELや有機薄膜太陽電池に代表する有機デバイスは、軽量化やフレキシブルな次世代のデバ イスとして期待されている。清家研究室では材料に高電圧を印加して霧化させるエレクトロスプレー技術やインクジェット技 術を用いて、有機デバイスを作製に関する研究を行っています。このような塗布技術を応用してスマートコ ンタクトレンズのような三次元形状を持つ有機デバイスが実現を目指しています。
EDUCATION
清家研究室では「Try it! & Fun too.」をモットーに研究を行っています。最近、私たちはチャレンジすることを臆病になっているような気がします。とにかくやってみる。それも楽しく。大学ではチャンレンジし、失敗してもすべて許されます。チャレンジしないことが失敗です。とにかくやってみよう！
企業の皆さへ
清家研究室では学生がいち早く企業との接点を持たせるために、積極的に共同研究を行っています。企業と共同研究することで、研究の質、スピード感、何よりも考え方が変わっています。学生たちの成長を一緒に教育して頂ける企業を探しています。興味がある方はご連絡下さい。
